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詳細(xì)內(nèi)容

電子級(jí)氫氟酸

產(chǎn)品名稱：電子級(jí)氫氟酸

產(chǎn)品用途：主要用于集成電路工業(yè)中芯片清洗與腐蝕，是微電子技術(shù)加工過(guò)程中不可缺少的關(guān)鍵化學(xué)品之一；也用于液晶顯示器（TFT-LCD）行業(yè)中對(duì)玻璃基板、氧化硅、二氧化硅蝕刻；還用于太陽(yáng)能電池行業(yè)硅表面清洗、蝕刻。

包裝規(guī)格：1000L IBC集裝桶；200L桶；20L桶；5L加侖桶

包裝儲(chǔ)運(yùn)要求：運(yùn)輸過(guò)程中避免撞擊，防止陽(yáng)光直射，儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)倉(cāng)庫(kù)，保持容器密封。

物理性質(zhì): ：為無(wú)色透明液體，呈弱酸性，有強(qiáng)烈的刺激性氣味，強(qiáng)腐蝕。濃度50%的氫氟酸密度為1.157g/ml,在大氣壓下沸點(diǎn)為107℃，冰點(diǎn)為-46.3℃，常溫下比熱3.1J/g. ℃ ,18℃時(shí)，當(dāng)量電導(dǎo)率為17.32Ω-1cm-1。與金屬鹽、氧化物和氫氧化物作用產(chǎn)生氟化鹽，能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態(tài)的四氟化硅。
產(chǎn)品指標(biāo)：

級(jí)別

UP-S級(jí)

UP級(jí)

EL級(jí)

項(xiàng)目 ITEM

單位UNIT

指標(biāo)

指標(biāo)

指標(biāo)

含量ASSAY

%

49%±0.5

49%±0.5

49%±0.5

氟硅酸(H2SIF6)

mg/l

≤100

≤100

≤100

氯化物(CL)

mg/l

≤5

≤5

≤5

硝酸鹽(NO3)

mg/l

≤3

≤3

≤3

磷酸鹽(PO4)

mg/l

≤1

≤1

≤1

硫酸鹽和亞硫酸鹽

mg/l

≤5

≤5

≤5

色度 COLOR

HAZEN

≤10

≤10

≤10

顆粒(≥1.0μm)

Ea/ml

≤10

≤10

≤25

鋰 Li

PPB

≤1

≤10

≤20

鈉 Na

PPB

≤1

≤10

≤100

鎂 Mg

PPB

≤1

≤10

≤100

鋁 Al

PPB

≤1

≤10

≤100

鉀 K

PPB

≤1

≤10

≤100

鈣 Ca

PPB

≤1

≤10

≤100

鉻 Cr

PPB

≤1

≤10

≤20

鐵 Fe

PPB

≤1

≤10

≤100

鈷 Co

PPB

≤1

≤10

≤20

鎳 Ni

PPB

≤1

≤10

≤50

銅 Cu

PPB

≤1

≤10

≤20

鋅 Zn

PPB

≤1

≤10

≤50

鎵 Ga

PPB

≤1

≤10

≤20

鉬 Mo

PPB

≤1

≤10

≤100

銀 Ag

PPB

≤1

≤10

≤20

鎘 Cd

PPB

≤1

≤10

≤50

錫 Sn

PPB

≤1

≤10

≤20

鋇 Ba

PPB

≤1

≤10

≤100

鉑 Pt

PPB

≤1

≤10

≤100

金 Au

PPB

≤1

≤10

≤20

錳 Mn

PPB

≤1

≤10

≤20

鉛 Pb

PPB

≤1

≤10

≤50

鉈 Ti

PPB

≤1

≤10

≤10

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